2月27日，上海光機所信息光學與光電技術實驗室組織專家對德國耶拿Friedrich-Schiller大學教授Frank Wyrowski承擔的“中國科學院外國專家特聘研究員”項目進行了同行評議。與會專家聽取了Frank Wyrowski教授對合作項目的進展報告，經(jīng)過討論，一致認為：Frank Wyrowski教授在上海光機所的兩個月期間，結合基于場追跡的光學仿真軟件VirtualLab，對光刻機照明系統(tǒng)關鍵元件的設計與系統(tǒng)仿真工作起到了重要的推動作用。評議專家組認為該項目組已完成了預期研究內(nèi)容，達到了預期研究目標. 

　　在Frank Wyrowski教授的指導下，項目組確定了照明系統(tǒng)的仿真目標和基本模型，提出了介于光線追跡和場追跡之間的混合仿真方法；研究了提高衍射光學元件效率的設計方法，通過降低信噪比使效率提高約3%。面向相關技術人員，F(xiàn)rank Wyrowski教授舉辦了以“場追跡技術和應用”為主題的4次系列學術報告。該項目促進了雙方的學術交流，為雙方深化合作研究奠定了堅實的基礎。