中國(guó)加速芯片制造業(yè)布局,中芯國(guó)際,華虹集團(tuán)等國(guó)產(chǎn)廠商都在大力提升芯片產(chǎn)能。
這對(duì)于光刻機(jī)的采購(gòu)有了更高的需求,國(guó)內(nèi)的上海微電子雖然也能生產(chǎn)光刻機(jī),但制程集中在90nm工藝,且上海微電子的市場(chǎng)份額主要由先進(jìn)封裝光刻機(jī)貢獻(xiàn),在前道IC晶圓制造領(lǐng)域還不是國(guó)外廠商的對(duì)手。
荷蘭ASML公司是國(guó)產(chǎn)廠商進(jìn)口光刻機(jī)最主要的來(lái)源,ASML運(yùn)營(yíng)中國(guó)市場(chǎng)的幾十年里,累計(jì)向中國(guó)交付了1000多臺(tái)光刻機(jī)。而且ASML還在提高光刻機(jī)產(chǎn)能,試圖爭(zhēng)取更多的中國(guó)客戶(hù)訂單。
不過(guò)事情并沒(méi)有那么順利,受制于外部規(guī)則因素,ASML的出貨范圍不斷調(diào)整。從EUV光刻機(jī)到DUV光刻機(jī),都面臨出貨限制。
當(dāng)然,并不是所有的DUV光刻機(jī)都會(huì)被限制,只有先進(jìn)制程較高的設(shè)備不能出貨,ASML依然能滿(mǎn)足國(guó)內(nèi)客戶(hù)對(duì)生產(chǎn)成熟芯片的需求。不能出貨是ASML自己的事情,中國(guó)客戶(hù)需要想辦法應(yīng)對(duì)。
按照以往的慣例,西方限制封鎖的技術(shù)都會(huì)被中國(guó)自研攻克。比如盾構(gòu)機(jī),空間站以及衛(wèi)星等等,西方嚴(yán)密封鎖技術(shù),不讓中國(guó)參與項(xiàng)目的研發(fā),不對(duì)中國(guó)開(kāi)放核心技術(shù),中國(guó)就會(huì)定下自研目標(biāo),不惜花費(fèi)幾十年也要突破技術(shù)封鎖。
如今光刻機(jī)被西方出口管制,中國(guó)同樣有了自研目標(biāo)。只要給中國(guó)足夠多的時(shí)間,未必不能突破到最后一步。
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